Анализ распределения примеси при равновесной электрожидкостной эпитаксии

К. М. Гамбарян, В. А. Геворкян, Л. В. Голубев, С. В. Новиков, Ю. В. Шмарцев

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

УДК: 532.78

Поступила в редакцию: 17.02.1984

Реферативные базы данных:

•