Перераспределение золота в монокристаллическом кремнии на границе с пористым кремнием при секундном отжиге некогерентным светом

С использованием методов спектроскопии обратнорассеянных ионов гелия и нейтронно-активационного анализа исследовано перераспределение золота в системе монокристаллический кремний–пористый кремний в процессе кратковременного отжига интенсивным некогерентным светом. Показано, что пористый кремний является эффективным стоком для атомов золота, ускоренная диффузия которых объясняется возникновением значительных динамических механических напряжений, возникающих при перестройке структуры пористого кремния в процессе неравновесного высокотемпературного нагрева.