RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1984, том 54, выпуск 11, страницы 2233–2237 (Mi jtf2058)

Электрожидкостная эпитаксия твердых растворов InAs$_{1-x}$Sb$_{x}$

Л. В. Голубев, О. В. Зеленова, С. В. Новиков, Ю. В. Шмарцев

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Аннотация: Приводятся результаты по выращиванию слоев InAs$_{1-x}$Sb$_{x}$ (${0.03\leqslant x\leqslant0.17}$) на подложках $p$-GaSb методом электрожидкостной эпитаксии. Определены режимы проведения процесса, обеспечивающие кристаллизацию эпитаксиальных слоев. Проанализированы наблюдавшиеся немонотонные зависимости толщины слоев от времени выращивания и от плотности тока. Полученные результаты объясняются конкуренцией трех процессов: эффектов Пельтье, Джоуля и электромиграции компонентов раствора–расплава.

УДК: 537.311.33

Поступила в редакцию: 26.03.1984



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024