Краткие сообщения

Резистометрический метод исследования кинетики процессов ионной имплантации

В. К. Васильев, В. Н. Новожилов, П. В. Павлов

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского

Поступила в редакцию: 18.05.1983
Исправленный вариант: 18.12.1983

Реферативные базы данных:

•