Краткие сообщения

Образование дисилицида титана при секундной термообработке пленок титана на кремнии

В. Е. Борисенко, Д. И. Заровский, В. А. Лабунов, А. Н. Ларсен

Минский радиотехнический институт

УДК: 539.216.2

Поступила в редакцию: 29.07.1985

Реферативные базы данных:

•