Исследование анизотропии движения электронов в плазме емкостного высокочастотного разряда низкого давления

С помощью поляризационной диагностики экспериментально исследована анизотропия функции распределения электронов в емкостном высокочастотном разряде низкого давления. Проанализирована роль приэлектродных процессов в формировании анизотропии и балансе энергии электронов в разряде.