RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1983, том 53, выпуск 3, страницы 545–549 (Mi jtf2240)

К вопросу о кинетике роста в равновесной электрожидкостной эпитаксии

В. А. Геворкян, Л. В. Голубев, А. Е. Хачатрян, Ю. В. Шмарцев


Аннотация: Рассмотрено распределение температуры в кристаллизационной системе с учетом влияния границ раздела источника и подложки с электродами и с учетом типа проводимости материала источника и подложки. Показано, что температурное распределение в этом случае имеет некоторые особенности, которые приводят к изменению в значении стационарной скорости роста пленки.



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024