RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1983, том 53, выпуск 5, страницы 943–945 (Mi jtf2350)

Краткие сообщения

К вопросу об изготовлении фоторезистивных решетчатых масок

В. А. Гаврилин, Л. В. Обухов




Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025