RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
1983
, том 53,
выпуск 5,
страницы
943–945
(Mi jtf2350)
Краткие сообщения
К вопросу об изготовлении фоторезистивных решетчатых масок
В. А. Гаврилин
, Л. В. Обухов
Полный текст:
PDF файл (1792 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2025