Нейтронно-легированный высокоомный кремний (НЛК) Получение, свойства

Эффективным методом, позволяющим воспроизводимо получать большое количество кремния $n$-типа с удельным сопротивлением более $10^{3}\,\text{Ом}\cdot\text{см}$, является метод нейтронного легирования исходного кремния $p$-типа на энергетическом уран-графитовом реакторе РБМК-1000. Показано, что легирование кремния на РБМК-1000 можно осуществлять в статическом режиме как в «тепловой колонне», так и в специализированных каналах системы управления и защиты большого диаметра и получать сильнокомпенсированный кремний $n$- и $p$-типов проводимости для детекторов ядерных и других видов излучений. Создание тепловой колонны на реакторе РБМК-1000 дает возможность производить в промышленных масштабах НЛК с высокими электрофизическими параметрами. Приведены результаты исследования по поиску оптимизированных режимов термообработок высокоомного НЛК $n$-типа, которые позволяют сохранить высокие значения удельного сопротивления. Изготовлены супервысоковольтные $p{-}n$-переходы с напряжением пробоя более 15 кВ.