Переходные процессы в МНОП структурах и их связь с нестабильностью электрических характеристик приборов

Приведены результаты исследования численными методами переходной и стационарной проводимости МНОП структур с учетом двухполярной инжекции. Показано, что деградационные явления в МНОП элементах памяти определяются кинетикой увеличения пространственно-коррелированного, термодинамически неравновесного заполнения электронных и дырочных ловушек в объеме нитрида кремния. Отмечается пороговый характер зависимости деградационных изменений от величины электрического поля и температуры.