Энергоанализ медленных вторичных электронов в цилиндрическом зеркале

В оже-спектрометре с цилиндрическим зеркалом изучено влияние температуры и потенциала мишени на вид начальных участков распределения по энергиям вторичных электронов из поликристаллического молибдена и титана. Показано, что, изменяя потенциал мишени, можно изменять чувствительность оже-спектрометра в области низких энергий и тем самым более уверенно и детально анализировать процессы, проходящие на поверхности образца.