В. М. Волле, В. Б. Воронков, В. А. Козлов, Е. Штейнбайс, К. Штэнбек, В. Экке, “Пассивирующие свойства оксидов кремния, нанесенных на поверхность кремниевых высоковольтных $p{-}n$ переходов методом катодно-реактивного распыления”, ЖТФ, 1988, том 58, выпуск 1,страницы 132

Пассивирующие свойства оксидов кремния, нанесенных на поверхность кремниевых высоковольтных $p{-}n$ переходов методом катодно-реактивного распыления

В. М. Волле, В. Б. Воронков, В. А. Козлов, Е. Штейнбайс, К. Штэнбек, В. Экке

Аннотация: Показано, что применение пленок оксидов кремния со встроенным положительным зарядом для пассивации поверхности приборов силовой электроники приводит к уменьшению обратных токов и стабилизации их вольтамперных характеристик. Пленки получены в реакторе магнетронного типа.