Механизм травления полимерных пленок в низкотемпературной плазме

Развита модель плазмохимического (ПХ) травления полимеров под действием химически активной разрядной плазмы низкого давления. Введено представление о существовании особого приповерхностного модифицированного слоя полимера ($K$-слоя), образующегося в результате взаимодействия активных молекулярных компонент плазмы с поверхностью полимерной пленки. При травлении активные атомарные частицы плазмы диффундируют из плазмы через $K$-слой в область немодифицированного полимера, где они, реагируя с полимерными молекулами, вызывают деструкцию последних с образованием низкомолекулярных летучих фрагментов, которые в свою очередь диффундируют через $K$-слой и переходят в газовую фазу. На основе анализа различных кинетических режимов ПХ травления показано, что основные закономерности процесса, вытекающие из развитых модельных представлений, хорошо согласуются с результатами экспериментов по травлению полиметилметакрилата в плазме CF$_{4}+\text{O}_{2}$.