Электростатические спектрометры для энергетического и углового анализа заряженных частиц

Рассмотрены основные типы энергоанализаторов, применяемых при диагностике поверхности для измерения энергетических и угловых спектров заряженных частиц. Приведены характеристики трех групп спектрометров: с задерживающим потенциалом, с механически перемещаемым и с неподвижным дисперсионным анализатором. Описан ряд конкретных приборов, даны их параметры и указаны особенности применения.