RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1988, том 58, выпуск 2, страницы 355–362 (Mi jtf2753)

Диффузионная модель эпитаксиального роста твердых растворов Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As из ограниченного расплава

С. Ю. Карпов, О. С. Мажорова, С. А. Никишин, Ю. П. Попов, В. И. Похилко, Д. В. Синявский


Аннотация: Целью работы является дальнейшее развитие диффузионной модели применительно к случаю кристаллизации твердых растворов Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As из ограниченного объема расплава. В качестве граничных условий использовано точное нелинейное уравнение ликвидуса. Результаты, полученные по диффузионной модели, сравниваются с аналогичными результатами, полученными с помощью модели полного высаживания. Такое сравнение позволяет оценить область применимости последней модели и определить источники присущей ей погрешности.



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024