Исследование тлеющего разряда в электроотрицательных газах с помощью открытого СВЧ резонатора

Разработана методика исследования плазмы капиллярных разрядов с помощью открытого цилиндрического СВЧ резонатора. Проведено исследование разряда в смесях, содержащих электроотрицательные компоненты. Измерена доля ионного тока, достигавшая 15%, что связано с наличием высокой концентрации отрицательных ионов в разряде. Анализ уравнений баланса заряженных частиц позволил получить значение константы отлипания ${K_{\text{отл}}=1.5\cdot10^{-14}\,\text{см}^{3}/\text{с}}$. Проведен расчет профилей заряженных частиц в разряде, что позволило оценить допущенную погрешность.