Критерии и принципы оптимизации концентрирующих электронно-оптических систем

Получены формулы, отражающие зависимость конфигурации активной зоны электронного пучка от его характеристической длины. Предложено в качестве критерия (наряду с известными) при проектировании и оптимизации концентрирующих электронно-оптических систем для электронно-лучевых технологических процессов использовать характеристическую длину, при которой получается подходящая (для конкретного процесса) конфигурация активной зоны. Предложен подход к проектированию и оптимизации таких систем.