Д. З. Гарбузов, А. В. Васильев, Е. В. Журавкевич, В. П. Чалый, А. Л. Тер-Мартиросян, А. В. Овчинников, В. Б. Халфин, “Влияние внутренних потоков в расплаве при росте эпитаксиальных слоев на движущуюся подложку”, ЖТФ, 1989, том 59, выпуск 1,страницы 92

Твердотельная электроника

Влияние внутренних потоков в расплаве при росте эпитаксиальных слоев на движущуюся подложку

Д. З. Гарбузов, А. В. Васильев, Е. В. Журавкевич, В. П. Чалый, А. Л. Тер-Мартиросян, А. В. Овчинников, В. Б. Халфин

Аннотация: Исследованы особенности процессов роста эпитаксиальных слоев на движущуюся относительно расплава подложку. Определены зависимости толщины слоя от времени роста при различных формах ростовых ячеек и различных скоростях движения подложки. Предложена модель и сделаны оценки влияния внутренних потоков в расплаве на условия роста эпитаксиальных слоев при движении подложки.