Краткие сообщения

Формирование скрытого слоя $\beta$-Si$_{3}$N$_{4}$ при высокоинтенсивном ионном облучении (ВИО) кремния

И. А. Бачило, Р. В. Грибковский, Ф. Ф. Комаров, В. А. Мироненко, А. П. Новиков

Реферативные базы данных:

•