Исследование электрических характеристик приэлектродных слоев емкостного ВЧ разряда с внешними электродами

Экспериментально исследованы основные характеристики плазмы положительного столба и слоев разряда в диэлектрическом капилляре. Получены зависимости выделяемой в приэлектродных слоях мощности от средней плотности тока на электроде. Приведенное сравнение с имеющимися в настоящее время теоретическими моделями показало, что последние позволяют по порядку величины оценить характеристики слоев разряда.