Электронно-оптические параметры иммерсионной астигматичной линзы из двух коаксиальных цилиндров с вырезами

С помощью аналитико-численного метода рассчитаны кардинальные элементы иммерсионной осесимметрично-квадрупольной (ОК) линзы, образованной двумя коаксиальными цилиндрами с двумя симметричными вырезами во внутреннем. Распределение потенциала на оси такой линзы получено в виде простой эмпирической формулы, которая с хорошей точностью аппроксимирует результаты измерений на электролитической ванне. Расчет электронно-оптических свойств первого порядка ОК линзы проведен на ЭВМ путем численного интегрирования параксиальных уравнений движения. Исследованы зависимости фокусных расстояний и положений фокусов в широком диапазоне изменения потенциалов на электродах при различных длине и ширине вырезов во внутреннем электроде.
Рассмотренная ОК линза простой конструкции может формировать астигматичные пучки и использоваться в различных электронных и ионных приборах и установках, в тракте которых имеются элементы с некруглой апертурой.