RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
1989
, том 59,
выпуск 6,
страницы
160–162
(Mi jtf3373)
Краткие сообщения
О возможности использования альфа-мышьяка в вакуумной рентгенолитографии
Б. А. Олыивангер
,
В. Л. Канцырев
,
А. С. Шляпцева
Полный текст:
PDF файл (407 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2024