Математическое моделирование процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах I. Газодинамические процессы

Численно исследованы режимы течения газа в вертикальном цилиндрическом эпитаксиальном реакторе. Расчет проведен на основе системы уравнений Навье–Стокса, упрощенной в предположении о малости числа Маха потока. Исследовано влияние газодинамики течения на условия роста пленок арсенида галлия из смеси триметилгаллия, арсина и водорода. Проведено сопоставление расчетных и экспериментальных зависимостей скоростей роста.