Перенос распыленных атомов в газоразрядной плазме

Исследовано диффузионно-пролетное и диффузионное движение распыленных атомов в газовом разряде. Дана оценка условий, при которых необходим учет пролетного механизма движения атомов. Разработан метод расчета концентрации атомов в диффузионно-пролетном режиме и предложен критерий выбора числа столкновений, начиная с которого движение атомов можно считать диффузионным. Выведены формулы для расчета концентрации распыленных атомов в диффузионно-пролетном режиме.