Исследование свечения приэлектродных слоев емкостного разряда в потоке газа

Приводятся результаты исследований пространственного и временного распределения интенсивности свечения разряда в азоте при частоте ВЧ-напряжения 1.76 МГц. При изменении плотности разрядного тока в пределах ${0.5{-}10\,\text{мА/см}^{2}}$ в диапазоне давлений $15{-}30$ Тор наблюдались два режима горения разряда — слаботочный и сильноточный. Указанные режимы имели значительные различия во временном распределении интенсивности свечения. Как показали расчеты, проведенные на основе решения уравнения движения ионов в слое, причиной существования двух режимов горения является различный механизм ионизации в приэлектродных областях.