RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
1989
, том 59,
выпуск 11,
страницы
181–183
(Mi jtf3630)
Краткие сообщения
Локальное поверхностное плавление ионно-имплантированного кремния
А. И. Плотников
,
С. И. Рембеза
,
В. А. Логинов
, А. П. Дорофеев
Полный текст:
PDF файл (2719 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2025