Неупругое распыление диэлектриков быстрыми ионами

Предложена модель неупругого распыления диэлектриков быстрыми многозарядными ионами. Рассматривается динамика электронной и решеточной температуры при релаксации области возбуждения вследствие низкотемпературной волны ионизации. Распыление атомов определяется их испарением с поверхности мишени. Приводятся выражения для коэффициента распыления и величины характерной температуры испаренных атомов.