Влияние обмена подложки с газовой фазой на кристаллизацию из газотранспортной системы

Рассмотрены режимы роста, в которых скорость доставки реагирующих компонент газовым потоком к подложке сравнима со скоростью их встраивания в подложку. Для описания процессов массопереноса в объеме использована система газодинамических уравнении. Для учета взаимодействия подложки с газовой фазой предложены адиабатические граничные условия. Адекватность данного подхода показана на примере хлоридной системы выращивания арсенида галлия. Рассмотренный подход содержит в качестве предельных случаев приближения диффузионного и кинетического режимов роста.