RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1990, том 60, выпуск 3, страницы 123–128 (Mi jtf3781)

Твердотельная электроника

Управление протяженностью переходных слоев при жидкофазной гетероэпитаксии (ЖФГЭ) в системе InGaAsP/InP

К. Ю. Кижаев, В. И. Кучинский, С. А. Никишин, К. Ю. Погребицкий, В. Б. Смирницкий, Н. Н. Фалеев


Аннотация: Приведены экспериментальные данные, свидетельствующие о влиянии интенсивности перемешивания расплава при жидкостной эпитаксии на протяженность переходных слоев в системе InP/InGaAsP.



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024