Математическое моделирование процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах. II. Управление составом эпитаксиальных слоев AlGaAs в переходных областях

Рассмотрено математическое моделирование процессов выращивания структур GaAs$-$Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As с использованием металлоорганических соединений в диффузионном режиме. Рассмотрены как прямая, так и обратная задачи, т. е. определение временных зависимостей концентраций реагентов на входе в реактор, обеспечивающих получение структур с заданным изменением состава в переходных областях. Приведены примеры расчетов выращивания слоев с линейным и параболическим профилями состава.