Особенности применения метода ВИМС для исследования диэлектриков: заряд на поверхности образца в одномерной модели

Рассмотрена физическая модель зарядки поверхности диэлектрического образца применительно ко вторично-ионной масс-спектрометрии. Решается одномерная задача по интегрированию уравнения Пуассона для промежутка держатель мишени$-$вытягивающий электрод для случая баланса поверхностного заряда на диэлектрике. Получены алгебраические уравнения, связывающие потенциалы поверхности диэлектрика с параметрами первичного и вторичного пучков ионов и мишени. Определены режимы бомбардировки в условиях нейтрализации заряда на поверхности диэлектрика. Рассмотренные модельные представления применены для интерпретации результатов анализа методом вторично-ионной масс-спектрометрии пленок сегнетоэлектриков и железо-иттриевого граната.