Электрожидкостная эпитаксия арсенида галлия в переменном электрическом поле

Экспериментально осуществлена электрожидкостная эпитаксия арсенида галлия на подложках ориентации (111), (110), (100) с использованием переменного электрического тока 1$-$1000 Гц в ячейке вертикального типа с непосредственной регистрацией скорости кристаллизации. Отличная от нуля скорость процесса получена для подложек ориентации (111), что объясняется в рамках разработанной ранее модели ЭЖЭ на переменном токе достижением кинетических режимов процесса.