Теоретические основы релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса

Изложены теоретические основы релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса, позволяющей выращивать сплошные супертонкие слои $AC$ на подложке $ABC$ при неограниченном времени контакта раствора$-$расплава $A{-}C$ с подложкой $ABC$.
Основная идея заключается в использовании для описания эволюции системы островков $AC$ на подложке $ABC$ уравнения Фоккер$-$Планка для функции распределения островков по размерам. Построена модель процесса в приближении однокомпонентного расплава и получена полная система уравнений, описывающая процесс. Путем численного решения этой системы уравнений найдены функции распределения островков по размерам, зависимости степени заполнения основной подложки, скорости роста и толщины пленки от времени. Получены зависимости времени образования и толщины первичного сплошного слоя от величины начального переохлаждения раствора$-$расплава и угла смачивания основной подложки осаждаемым веществом.
Предлагаемый метод описания эволюции системы островков хорошо согласуется с экспериментом и может быть использован в широком классе задач.