Движение электронов и среднее поле в приэлектродных слоях высокочастотного емкостного разряда

Исследовано движение электронов в неоднородной плазме в режиме подвижности. Показано, что если частота поля превышает обратное ионное максвелловское время, но мала по сравнению с обратным электронным, то усредненное по периоду ВЧ колебаний электрическое поле состоит из двух слагаемых. Первое, отличное от нуля в слое объемного заряда, зависит от координаты, а второе соответствует диффузии ионов. Рассмотрены установление квазинейтрального профиля за электронное максвелловское время, а также форма резкой границы электронного профиля, толщина которой порядка дебаевского радиуса. Получены выражения для среднего поля в высокочастотном случае.