Математическое моделирование высокочастотного реактора планарного типа в режиме радикального травления

В гидродинамическом приближении проведены численные исследования ВЧ разряда мегагерцового диапазона в электроотрицательном газе (Cl$_{2}$) низкого давления (0.3$-$1.0 Тор). Рассматривались две самосогласованные модели: локальная и нелокальная. Проведено сравнение полученных результатов по обоим моделям. Установлена граница применимости локальной модели. На основе полученных характеристик ВЧ разряда (пространственно-временны́х распределений концентраций заряженных частиц и электрического поля в межэлектродном зазоре) определены энергетический спектр потока ионов (Cl$_{2}^{+}$) на электрод и концентрация атомарного хлора в разряде. Последние две характеристики являются определяющими для процессов травления материалов. Полученные результаты вполне удовлетворительно согласуются с экспериментальными данными.