Восстановление профиля структурных нарушений сверхтонкого приповерхностного слоя кристалла из данных дифракции рентгеновских лучей в условиях скользящего падения

Предложена методика дифференциальных измерений рентгеновской дифракции в условиях скользящего падения. Высокое угловое разрешение (${\sim10''}$) и отсутствие геометрических искажений достигаются за счет селекции спектра с помощью кристалла-анализатора. Теоретическое рассмотрение базируется на кинематическом приближении теории дифракции. Определена область, в которой применимо данное приближение. Развитый в работе подход справедлив для кристаллов с произвольной зависимостью восприимчивости $\chi_{0}$, $\chi_{h}$ от глубины. Предложена методика восстановления профиля нарушений в кристалле на основе одновременной обработки экспериментальных данных рентгеновской дифракции при различных углах падения излучения.