RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1991, том 61, выпуск 2, страницы 109–116 (Mi jtf4162)

Оптика, квантовая электроника

Исследование дифференциального фазового оптического микроскопа

С. И. Божевольный, Е. М. Золотов, П. С. Радько


Аннотация: Проведен теоретический анализ работы дифференциального оптического фазового микроскопа при различных параметрах оптической схемы. Рассмотрены возможности улучшения разрешения микроскопа по глубине и в плоскости объекта. Проведено экспериментальное исследование характеристик реализованного микроскопа и достигнуто разрешение по глубине рельефа 2 Å и в плоскости объекта 2.5 мкм. С помощью микроскопа измерены толщины тонких (${\sim20}$ Å) слоев металла на кремнии, рельеф поверхности ниобата лития после термодиффузии полосок титана шириной до 12 мкм, временные зависимости и распределение фоторефрактивного изменения показателя преломления ниобата лития.



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025