Аннотация:
Проведен теоретический анализ работы дифференциального
оптического фазового микроскопа при различных параметрах оптической схемы.
Рассмотрены возможности улучшения разрешения микроскопа по глубине
и в плоскости объекта. Проведено экспериментальное исследование
характеристик реализованного микроскопа и достигнуто разрешение по глубине
рельефа 2 Å и в плоскости объекта 2.5 мкм. С помощью микроскопа
измерены толщины тонких (${\sim20}$ Å) слоев металла на кремнии, рельеф
поверхности ниобата лития после термодиффузии полосок титана шириной до
12 мкм, временные зависимости и распределение фоторефрактивного
изменения показателя преломления ниобата лития.