Исследование дифференциального фазового оптического микроскопа

Проведен теоретический анализ работы дифференциального оптического фазового микроскопа при различных параметрах оптической схемы. Рассмотрены возможности улучшения разрешения микроскопа по глубине и в плоскости объекта. Проведено экспериментальное исследование характеристик реализованного микроскопа и достигнуто разрешение по глубине рельефа 2 Å и в плоскости объекта 2.5 мкм. С помощью микроскопа измерены толщины тонких (${\sim20}$ Å) слоев металла на кремнии, рельеф поверхности ниобата лития после термодиффузии полосок титана шириной до 12 мкм, временные зависимости и распределение фоторефрактивного изменения показателя преломления ниобата лития.