Исследование комплексного сопротивления емкостного ВЧ разряда с внешними электродами

Экспериментально исследованы характеристики емкостного ВЧ разряда в диапазоне частот 80$-$90 МГц. Показано, что слои разряда в $\alpha$-режиме могут описываться эквивалентным конденсатором. Получена связь между емкостью такого конденсатора и физическими параметрами слоя. Произведено сравнение с имеющимися моделями, свидетельствующее об удовлетворительном соответствии.