RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1991, том 61, выпуск 3, страницы 74–79 (Mi jtf4191)

Твердое тело

ЭЖЭ — рост объемных кристаллов и одновременное получение слоев на нескольких подложках

Л. В. Голубев, А. В. Егоров, С. В. Новиков, И. Г. Савельев, В. В. Чалдышев, Р. Г. Шаповалов, Ю. В. Шмарцев


Аннотация: Разработано кристаллизационное устройство для получения слоев и кристаллов соединений A$_{3}$B$_{5}$, пригодное к использованию как в наземных условиях, так и в условиях микроускорений. Методом ЭЖЭ в неземных условиях получены в атмосфере водорода и в атмосфере аргона слои GaAs толщиной до 2 мм. Продемонстрирована возможность получения слоев GaAs методом ЭЖЭ одновременно на нескольких подложках в течение одного технологического процесса. Исследованы возможности кристаллизации слоев GaAs в вакууме. Анализируются параметры полученных слоев.



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024