RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
1991
, том 61,
выпуск 3,
страницы
183–186
(Mi jtf4217)
Краткие сообщения
Численное моделирование динамики наносекундного лазерного отжига имплантированного кремния
С. П. Жвавый
, О. Л. Садовская
Полный текст:
PDF файл (571 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2025