Модификация морфологии поверхности аморфизованных слоев кремния в режимах локального излучения наносекундной длительности

В режимах локального плавления под действием лазерного излучения наносекундой длительности на поверхности аморфных слоев кремния в результате плохой смачиваемости ее собственным расплавом формируются области расплава куполообразной формы. При этом на поверхности поликристаллических слоев кремния происходит уменьшение размера зерна и куполообразных областей расплава не образуется.