Хроматическая аберрация зондоформирующих систем микрозондовых ионно-лучевых установок (ИЛУ)

Рассмотрена хроматическая аберрация в одно- и двухлинзовых зондоформирующих системах ионно-лучевых установок. Приведены простые выражения для их оптимизации при размерах ионного зонда менее 0.2$-$0.3 мкм.