Кинематическая теория дифракции на дефектной эпитаксиальной пленке с постоянным градиентом деформации

В рамках статистического подхода к проблеме дифракции рентгеновских лучей в кристаллах построена кинематическая теория рассеяния на дефектной эпитаксиальной пленке с постоянным градиентом деформации кристаллической решетки по глубине пленки. Получены аналитические выражения для углового распределения когерентно и диффузно рассеянных волн. Исследуется асимптотическое поведение профиля диффузного фона при больших угловых отстройках. На основе численных расчетов анализируется формирование полной кривой дифракционного отражения (КДО) в зависимости от толщины пленки, градиента деформации решетки, степени аморфизации (статического фактора Дебая$-$Валлера) и размеров дефектов (корреляционной длины Като). Установлено, что важным фактором, влияющим на вид полной КДО, является слоистая неоднородность распределенных по пленке дефектов. Показано влияние послойного изменения концентрации и размеров дефектов на профиль рентгенодифракционного спектра.