К расчету МДП структуры с квазиодномерным электронным газом
С. В. Козырев, В. Ю. Осипов
Аннотация:
Анализируются сверхузкие (шириной $\leqslant1$ мкм)
квазиодномерные $n$-МДП каналы на кремнии,
ограниченные с боков обратносмещенными относительно $n$-подложки
$p^{+}$-областями. Рассматриваются вопросы о распределении зарядов
в структуре, о расслоении средней $n$-области. Особое внимание
уделяется приближению сильно неоднородного двумерного электронного
газа и соответствующей постановки задачи в квазиравновесном рассмотрении,
когда квазиуровень Ферми для электронов в области аккумуляции в общем
случае не совпадает с уровнем Ферми нейтральной части $n$-полупроводника.
При этом принимается во внимание квантование в $+z$-направлении,
а вдоль $x$-направления ситуация рассматривается классически.