Определение абсолютных селективных коэффициентов распыления в водородной плазме полого катода

На основе известного спектрально-зондового метода определения селективных коэффициентов распыления в плазме атомных газов предложена методика определения абсолютных коэффициентов распыления компонентов сплавов в водородной плазме полого катода при энергиях распыляющих частиц порядка нескольких сот эВ. Рассчитаны функции распределения частиц, бомбардирующих поверхность полого катода. Показано, что основной вклад в распыление при типичных условиях разряда в полом катоде (давление газа несколько Тор, плотность тока порядка 10 мА/см$^{2}$) вносят ионы H$^{+}_{3}$.