Влияние нелокальности энергетического спектра
электронов на кинетику ВЧ разряда в электроотрицательных газах
Е. А. Волкова, A. M. Попов, О. Б. Поповичева, Т. В. Рахимова, В. А. Феоктистов
Аннотация:
Построена последовательная самосогласованная модель ВЧ разряда
в электроотрицательных газах на основе совместного решения уравнения
Больцмана для функции распределения электронов в переменном пространственно
неоднородном поле, диффузионно-дрейфовых уравнений для концентрации
различных компонент плазмы и уравнения для определения электрического поля
разряда. Проанализировано влияние пространственной нелокальности
энергетического спектра на параметры плазмы ВЧ разряда.
Полный текст:
PDF файл (1050 kB)