Выращивание кристаллов способом Чохральского с оценкой вектора состояния объекта управления

Рассматривается система управления процессом роста, предназначенная для установок, оснащенных датчиком веса. На основе решения уравнения наблюдения датчика веса в процессе роста находятся реальные значения радиуса кристалла и высоты жидкого мениска. Проведена экспериментальная проверка предложенного метода вычисления вектора состояния. Разработанный метод успешно использовался в системе управления выращиванием кристаллов ниобата лития (диаметром 80 мм) и молибдата гадолиния (30 мм).