Краткие сообщения

Масс-спектральное исследование индиевого жидкометаллического ионного источника

А. Н. Пустовит, В. И. Жила

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР, Черноголовка Московской обл.

УДК: 537.534.2

Поступила в редакцию: 16.10.1985

Реферативные базы данных:

•