Геометрические аберрации электростатических трансаксиальных трехэлектродных зеркал

Исследованы геометрические аберрации второго порядка, возникающие при фокусировке пучка заряженных частиц в вертикальном направлении, трансаксиальных трехэлектродных вогнутых и выпуклых зеркал с электродами, состоящими из пары параллельных пластин, в случае криволинейной осевой траектории пучка. Проанализировано поведение коэффициентов геометрических аберраций второго порядка вертикального направления в фокальной плоскости в широких пределах изменения величины потенциала на втором электроде и его ширины. Приведены значения коэффициентов геометрических аберраций второго порядка вертикального направления вогнутых и выпуклых зеркал, обеспечивающих стигматическую фокусировку без сферической аберрации второго порядка горизонтального направления как параллельного, так и расходящегося пучков заряженных частиц.