В. П. Марков, А. П. Петраков, Н. А. Тихонов, Л. Е. Четвериков, “Рентгеновская дифрактометрия нарушенных лазерным излучением монокристаллов кремния”, ЖТФ, 1992, том 62, выпуск 12,страницы 50

Оптика, квантовая электроника

Рентгеновская дифрактометрия нарушенных лазерным излучением монокристаллов кремния

В. П. Марков, А. П. Петраков, Н. А. Тихонов, Л. Е. Четвериков

Аннотация: Экспериментально исследовано изменение структуры приповерхностной области монокристаллов кремния, облученных миллисекундным импульсом рубинового лазера, работающего в режиме свободной генерации. Измерения проводились с помощью двух- и трехкристальных рентгеновских дифрактометров. При импульсной лазерной обработке могут наблюдаться как генерация, так и отжиг дефектов. Рассмотрена зависимость дефектности структуры от энергии и количества импульсов. Зарегистрированы деформация решетки и дефекты типа микротрещин, кластеров и дислокационных петель.